品牌：
国产
特点：
产品负责人：
Luka产品概述
针对半导体、微电子、光伏、显示、光电元件等领域中薄膜厚度、光学参数的非接触测量应用需求，以及国产化替代需要，创新性提出光栅光谱+傅里叶光谱的宽波段光谱椭偏方法，突破了紫外到中红外宽波段偏振调制解调、大角度透反射薄膜测量、椭偏参数提取算法等关键技术，解决了 190nm-3200nm 宽波段、15°-90°大角度光谱椭偏测量难题，技术鉴定验收达到国际同类产品先进水平。应用在半导体、微电子、光伏、显示、光电元件、材料、生物等领域中薄膜厚度、光学参数的非接触测量
功能
对半导体、电介质、聚合物、金属以及透明基底上多层膜的厚度、折射率、方位角、相位差等多参数测量。
核心指标
特点
• 完全国产化
• 宽波段；紫外到短波红外
• 大角度：透射反射都可测
其他
支持方案解决和订制。
暂无
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