被动式台式隔振平台BM-4

最具成本效益的台式隔振平台,垂直与水平方向均可实现1/2Hz(00.5Hz)隔振性能。

性能

    •    可在整个负载范围内实现1/2Hz或更低的垂直固有频率

    •    水平固有频率与负载相关,在有效载荷范围上限或接近上限时可实现1/2Hz或更低的频率。

    •    重量:约80lb(36kg)*约70lb(32kg)

    •    尺寸:16.8"Wx16.8"Dx8.5"H(427mm×427mm:x 216mm)

有效载荷范围

下图曲线展示了BM-4平台典型的垂直方向0.5Hz隔振性能,其性能比常规高性能气浮隔振台优越10-100倍。

被动式台式隔振平台BM-10

BM-10台式隔振平台在仅高11.7厘米(4.6英寸)、宽深30.5厘米(12英寸)的紧凑结构内,即可提供超越大型气浮。

隔振台10-100倍的卓越性能,且完全无需气源或电力驱动。

该隔振平台兼具极致易用性与卓越性能,其水平固有频率达1.5Hz,垂直固有频率更可实现标志性的0.5Hz(基于XX专利技术),仅需两处调节即可完成系统校准。BM-10专为新一代小型扫描探针显微镜(SPM)设计,能在超紧凑系统中提供最高级别的隔振性能。

该平台还可定制为洁净室及真空兼容版本

性能

    •    水平固有频率与负载重量相关

    •    在有效载荷达到上限时,系统水平固有频率可稳定实现1.5Hz

    •    当有效载荷处于下限范围时,水平固有频率约为2.5Hz

    •    垂直向固有频率可在全载荷范围内精确调谐至0.5Hz

    •    重量:约80lb(36kg)*约70lb(32kg)

    •    尺寸:16.8"Wx16.8"Dx8.5"H(427mm×216mm)

有效载荷范围

下图曲线展示了BM-4平台典型的垂直方向0.5Hz隔振性能,其性能比常规高性能气浮隔振台优越10-100倍。